垃圾焚燒煙氣凈化工藝可分為濕法、半干法和干法三種
顆粒物凈化技術：垃圾焚燒廠的顆粒物控制可以分為靜電分離過濾、離心沉降及濕法洗滌等幾種形式。常用的凈化設備有靜電除塵器、
袋式除塵器和文丘里洗滌器等。靜電除塵器和袋式除塵器廣泛應用于發達我國垃圾焚燒廠對煙氣中顆粒物的凈化。靜電除塵器可以使顆粒物的濃度控制在45mg/Nm3以下，而袋式除塵器的凈化效果優于靜電除塵器；酸性氣體污染物凈化技術：HCI、HF、SO×的去除機理是酸堿中和反應。堿性吸收劑（如NaOH、CA（OH）2）以液態（濕法）、液/固態（半干法）或固態（干法）的形式與HCI、HF、SO×污染物發生化學反應。氮氧化物的凈化技術：NO的凈化是困難且費用昂貴的技術。垃圾焚燒煙氣中的NO×以NO為主，利用常規的化學吸收法很難達到有效去除。常用凈化方法有選擇性非催化還原法（SNCR）、選擇性催化還原法（SCR）、氧化吸收法、吸收還原法等。其中SNCR法在
垃圾焚燒煙氣凈化中應用多。有機污染物的凈化：降低垃圾焚燒廠煙氣中的多氯二苯二噁英（PCDDS）、多氯代二苯并呋喃（PCDFS）濃度的主要方法是控制PCDDS、PCDFS的生成。其控制措施主要包括：（1）選用合適的爐膛和爐排結構，使垃圾在焚燒爐得以充分燃燒；（2）控制爐膛及二次燃燒室內煙氣溫度不低于850℃，煙氣在爐膛及二次燃燒室內的停時間不少于2S；（3）縮短煙氣在處理和排放過程中處于300-500℃溫度的時間，控制余熱鍋爐的排煙溫度不大過250℃；（4）選用新型袋工除塵器，控制除塵器入口處的煙氣溫度低于200℃；重金屬的凈化：重金屬的凈化主要在的顆粒物捕集和低溫控制二個方面。
